Ateizm kelimesinin kökleri Eski Yunanca'ya dayanır. Theos, Yunanca "tanrı" demek olup atheos sözcüğündeki "a" ön takısı olumsuzluk belirtir. Fransızca "athéisme" kelimesi "atheism" olarak 1587 civarında ingilizceye girmiş, Türkçeye de Fransızcadan benzer şekilde uyarlanarak "ateizm" olarak alınmıştır.
