tem*, yani geçirim elektron mikroskobu için numune hazırlama işlemleri 4 şekilde gerçekleştirilir. Transmisyon elektron mikroskobunda kullanacağımız bir numuneyi gözleyebilmek için;
* Elektronların numuneden geçebilecek kadar numunenin ince olması,
* Numunenin vakum ortamında değişmez kalması,
* Numunenin elektron bombardımanına dirençli olması gerekir.
1-) Elektrolitik Parlatma
Numune, Spark cihazında 0,5-1 mm kalınlığında levhalar halinde kesilir ardından yine aynı cihazla 3 mm çaplı diskler haline getirilir. Normal koşullarda kesme sırasında oluşan hatalar yüzeyden 100 mikrona kadar nüfuz ettiğinden, her iki yüzeyden en az 100 mikronluk kısım zımparalanır. Hazırlanan bu numuneler, her malzeme cinsine göre değişen uygun elektrolit sıvısıyla elektrolitik parlatma adı verilen aletle inceltilirler. Numunenin elektron mikroskobunda incelenen kısmı disk ortasındaki deliğin çevresindeki ince kısımdır.
2-) iyon ışınlarıyla inceltme ve temizleme
Numunelerin inceltilmesinde ve numune yüzeylerinin temizlenmesinde, birkaç kev enerjideki iyonların çarptıkları yüzeyden parça koparmasından yararlanılmıştır. iyon ışınları temizleme için oldukça kullanılmakla beraber, inceltme içinse elektrolitik parlatmanın çaresiz kaldığı durumlarda kullanılır. Çünkü iyon ışınlarıyla inceltme mutlaka numunede bazı hataların oluşmasına ve iç yapıda değişime neden olmaktadır. Ayrıca kullanılan cihaz pahalı ve inceltme süresi de uzundur.
3-) Pencere Yöntemi
200 mikron veya daha ince metal numuneler için kullanılır.
Uygun numunelere parlatma işleminden önce ısıl işlem uygulanır. Sonra zımpara yardımıyla uygun parlatma işlemi uygulanır. Hazırlanan parçadan dikdörtgen biçimli örnekler kesilir ve kenarları boyanır.
Numune, parlatma eriyiğine daldırılır ve anodu oluşturur. Katot ise paslanmaz çeliktir. Numune 5 dakikada bir tersine çevrilmek suretiyle numune delindiği zaman inceltme durdurulur ve ince kısımda 3 mm çapında kesilerek filte kağıdı üzerinde kurutulur.
4-) Replika
Herhangi bir yüzeyin ayrıntılarını içeren ve birtakım koşulları sağlayacak şekilde bir maddeden hazırlanan numunelere replika adı verilir. Replika yönteminde önemli olan replikanın ayırma gücüdür. Daha büyük ayırma gücüne sahip olan replika yöntemi ile en iyi ayırma gücü 20 angström civarında olmaktadır. Görülecek görüntü ışık mikroskobunda görüldüğü gibidir.
