SEM* için, yani tarama elektron mikroskobu için numune hazırlama işlemleri 3 aşamada gerçekleştirilir.
1-) Giriş
Numunenin, her şeyden önce vakumda buharlaşmayan, katı halde temiz ve iletken yüzeyli olması gerekir. Temizlik ve iletkenlik numunede aranacak diğer önemli koşullardır.
Sağlıklı bir görüntü elde etmek için, elektron demetinin numune yüzeyini düzgün bir şekilde taraması gerekir. Numune yüzeyinin iletken olmaması veya iletken yüzeylerde bulunan iletken olmayan bölgelerin varlığı sonucu meydana gelen, elektron demetiyle gelen ve numuneden ayrılan elektron sayısı arasındaki farklılaşmalar; numune yüzeyinde elektrostatik alanlar oluşturabilir. Bu da elektronların saparak düzgün tarama ve algılama yapılmasını önler.
2-) Temizleme
Elle veya ultrasonik aygıtlarla yapılabilen temizleme işlemi; en çok deterjan, saf su, alkol veya aseton olmak üzere, eter, karbontetraklorür, di-klor etan gibi çözücülerle yapılabilir.
Temizleme bittikten sonra numune saf alkol veya asetonla yıkanarak kurutulur. Leke kalmaması için sıcak hava üfleyen kurutucular kullanılmalıdır. Eğer numune havada uzun süre bırakılırsa, yüzeydeki olası toz taneciklerinden kuru hava veya freon gazı püskürtülerek arındırılmalıdır.
3-) Kaplama
Yalıtkan veya yalıtkan bölgeler içeren numuneler, ince ve iletken bir tabakayla kaplanırlar. Görüntü üzerinde yapılacak çalışmalarda, kaplama için atom numarası yüksek bir metal seçilir. (Daha küçük etkileşim hacmi ve daha yüksek sinyal oluşturacağından ayırma gücü artar)
iki yöntem uygulanmaktadır;
1. Kaplamada kullanılacak element vakumda yüksek sıcaklıkla buharlaştırılır ve aynı vakumdaki numune üzerine yoğunlaşması sağlanır.
2. Sputter Kaplama
