Bir veya birkaç atom büyüklüğündeki bölgeyi kapsayan hatalara nokta veya sıfır boyutlu yapı hatası denir. Bunların oluş nedeni : *Yüksek sıcaklıkta ani soğutma, *Plastik şekillendirme ve *Yüksek enerjili parçacıkların çarpması
Nokta hatalarının çeşitleri:
1. Boş Yer
atomun bulunması gereken yerde bulunmasından kaynaklanır. Boşluğu çevreleyen atomlar birbirine yaklaşarak kafes düzlemlerinin çarpılmasına neden olur.
2. Arayer Kusuru (Kafes arası Atom)
Bu kusur, yarıçapları 1A’dan daha küçük olan H, N, B, O ve C atomlarının ana metalin atomları arasındaki arayer konumlarına girmesiyle oluşur. ara yer atomları kendilerini çevreleyen atomları iterek kafes düzlemlerini çarpıtabilirler.
3. Frenkel Çift:
Bu kusur, bir iyonun normal kafes konumundan bir arayer konumuna atlaması ile oluşan boş kafes noktası arayer atomu çiftidir.
Şayet boş yer ve kafes arası atom beraberce bulunuyorsa, bu hata çeşidine Frenkel Çifti denir. Bu hatanın oluş nedeni olarak, malzemenin yüksek enerjili parçacıklardan nötronlar tarafından bombardımana tutulması görülebilir. Atom reaktörlerinde kullanılan malzemeler sürekli olarak bu ışınların etkisi altında bulunurlar ve bir süre sonra, Frenkel Çiftlerinin çoğalması sonucu gevrekleşirler. Yüksek ivmeye sahip nötronlar malzemenin içine girerek atomlara çarpar ve yerlerinden fırlatabilirler. Yerinden ayrılan atom, orada bir boş yer bırakır. Kendisi de gidip kafes arasına yerleşir. Böylece bir Frenkel Çifti oluşmuş olur. Yerinden fırlatılan atom bu arada diğer atomlara da çarparak başka Frenkel Çiftlerine de sebep olabilir.
Bir atomu kafesteki yerinden çıkartmak için yaklaşık 20-25 eV enerjiye gereksinme vardır. Ancak bundan daha büyük enerjiye sahip parçacıklar Frenkel Çiftlerine neden olabilirler. Örneğin, 1 MeV enerjiye sahip bir nötron 1000 kadar sayıda Frenkel Çiftine sebep olabilirler. Oluşan hata sayısı parçacık cinsine, enerjisine ve saçılışına (parçacık sayısı/cm2.saniye) göre değişir. Fakat bir taraftan hatalar oluşurken aynı anda diğer hataların da bu arada kısmen düzeltildiğini de dikkate almak gerekir. Örneğin, yerinden fırlatılan bir atom gidip bir boş yere yerleşebilir. Nokta hataları düzelten diğer bir fiziki büyüklük de sıcaklıktır. Sıcaklığın yükselmesiyle artan öz difüzyon yoluyla pek çok hata düzelir.
4. Yabancı Atom
Bir metalin içinde çözünmüş olarak istenerek (alaşım elementi) veya istemeyerek (katışık) bulunan başka cins (metal veya ametal) atomlar, kafes sistemine yabancı atom olarak katılırlar. Bu yabancı atomların çapları ana metalin atom çapına yakın büyüklükte ise yer alan yabancı atom (= sübstitusyon ), yabancı atom çok küçükse arayer yabancı atomu (= interstitiel atom) olarak nokta hata oluşturur. Şayet yabancı atom çok daha büyükse çözünme olmaz ve ana metalin kafesine kabul edilmez. Bu durumda ya ayrı bir faz oluşturmak (üç boyutlu hata) veya hiç bir şekilde karışmayıp yoğunluğuna göre altta veya üstte ayrışmak zorundadır.
Yer alan yabancı atomlarda: Ana metalin atom çapı D ve yabancı atomun çapı d ise iki atom büyüklüğü arasında olması gereken bağıntı ( x100  %14) olmalıdır. Yani iki atom çapı arasındaki fark %14'den daha az olmalıdır.
Ara yer yabancı atomlarda: iki atom çeşidi arasında büyüklük farkı % 59'dan fazla ise ( x100 %59 ) arayer yabancı atomları söz konusu olabilir.
5) Boşyer Yığılması
Az sayıda boş yerlerin bir çizgi, bir düzlem boyunca veya topak olarak bir arada bulunmasına boş yer yığılması denir. Tam olarak nokta hata olmamasına rağmen, boş yer yığılmaları da nokta hatalar grubunda incelenir. Geniş çaptaki boş yer yığılmaları bu sınıflandırmaya girmez. O durumda ya dislokasyon olarak çizgi hata veya tane ve faz sınırı olarak düzlem hata olarak nitelemek gerekir.
6. Schottky Kusuru
Bu kusur iyonik bağla bağlı malzemelerde boş nokta çifti şeklinde meydana gelir. Bu tür malzemelerin kristal yapıları içerisinde eşit elektriksel yükün korunması için kafesten bir anyon ile bir katyonunun ayrılması gerekir. Bunun sonucunda da Schottky kusuru oluşur.
Noktasal kusurlardan bazıları, malzemelerin kafes düzlemlerini çarpıtarak dislokasyon hareketinin zorlaşmasına veya engellenmesine yol açar. Dislokasyon hareketinin engellenmesi de malzemenin sertlik ve mukavemetinin artmasına neden olur. Bu kafes kusurları yalnız katılaşma sonucunda değil, sıcaklığın yükselmesi ya da malzemelerin yüksek hızlı nükleer parçacıklar ile bombardımana tutulmaları sırasında da meydana gelebilirler.