scanning electron microscopy, transmission electron microscopy, scanning transmission electron microscopy, reflection electron microscopy ve low voltage electron microscopy gibi tekniklerle görüntüleme yapabilen cihaz.
en temel iki tanesi sem ve tem'dir. sem'de dış yüzey, tem'de ise kesit incelemesi yapılır.
numune anoda yerlestirilir. katot tarafindan olusan elektronlar anoda dogru yönlenirler. bobinler tarafindan yönleri degistirilir ve sabit manyetik mercekler ile odaklastirilirlar. numuneye carpan elektronlar se (secondelektron) - detektörü tarafindan yakalanir ve topografisini cikartir. bse - deketörü tarafindan yakalanan elektronlar da maddenin sabitligini, degismez degerini verir.
ve bu numuneye carpan elektronlar ayni zamanda isinim da sacarlar. örnegin; x-ray isinimi. bu isinimlar edx / wdx- detektörü tarafindan yakalanir ve numunenin hangi maddelerin birlesiyle olustugunu ayri bir monitörde gösterir.
maksimal büyütme faktörü normal mikroskopalarinkisi 2000:1 iken; elektron mikroskoplarinkisi neredeyse 1.000.000:1 ´dir.
icerisinde karbon icerikli (yag, kömür vb) maddelerin incelenmemesi tavsiyemdir. özellikle yag hic koymayin, vakkum düsmanidir.
bazi iletken maddelerde de görüntü elde etmekte zorlanilir. örn; alüminyum
