Anadolu'da Türk camilerinin ilkidir. Bu cami uzun bir zaman süresi içerisinde biçim aldığından, çeşitli kişiler tarafından, yaptırılmış, onartılmış, sürekli yeni yapılar eklenerek bugünkü görünümünü almıştır.
islam dünyasında beşinci Harem-i Şerif olarak bilinmektedir. Diyarbakır islam ordularınca fethedildikten sonra, ildeki en büyük Hıristiyan tapınağı Mar-Tama Kilisesi, 639 yılında camiye çevrilmiştir.
çeşitli devirlere ait kitabeleri yönünden büyük değer taşıyan bu ilk islam yapısı, karataşlarla inşa edilmiştir. Anadolu'nun en eski camisidir.
