Ateizm kelimesinin kökleri Eski Yunanca'ya dayanır. "Atheos" (theos, Yunanca "tanrı" demek olup başındaki "a" ön takısı ile olumsuzluk belirtir.) "tanrısız" veya "tanrıya inançsız" demektir.
ingilizce'ye de Fransızca'dan gelen "athéisme" kelimesinin uyarlanışı "atheism" olarak 1587 civarında bu dile girmiş, Türkçe'ye de çok daha sonraları benzer şekilde uyarlanarak "ateizm" olarak alınmıştır. Ayrıca Türkçe karşılığı olarak belirlenen "tanrıtanımazlık" çok yaygın olmayan kullanım biçimdir.
