1912 senesinde fizikci Heinrich Greinacher tarafindan elektron yükünü ölcmek icin bulunmustur. amerikali Albert W. Hull de bu teoriyi gelistirmistir. 1921 tarihinde de Erich Habann 100 MHz´lik bir frekans elde etmistir. habann´in bulusu günümüzde kullandigimizdir. hull´un bulusundan farkli olmasinin sebebi ise esit manyetik alan olarak kullanilmasidir. August Zacek ise 1 GHz´lik frekansa ulasmistir. 1929 yilinda Kinjiro Okaba tokyo üniversitesi´nde 5,35 GHz´lik frekans elde etmistir.
27 kasim 1935´de Hans Erich Hollmann patentini almistir.
mikrodalga firinlarda, radarlarda, kükürt lambalarinda veya plazmatronlarda, toz yok edicilerde, emp silahlarinda, dünya - ay - dünya haberlesme cihazlarinda kullanilir.
