Deizm Latince’de “Tanrı” anlamına gelen deus kelimesinden türetilmiş olup Grekçe’de yine “Tanrı” anlamındaki theostan gelen teizm terimiyle aynı sözlük anlamına sahiptir. Ancak XVI. yüzyıldan itibaren hıristiyan dünyasında başlayan felsefî ve teolojik tartışmalarla birlikte teizm terimi Ortodoks inançları savunan kesim için, deizm ise geleneksel inançlardan sapan düşünürler için kullanılmaya başlanmıştır. Deizm kelimesinin ilk kullanılışlarından birine, Calvinci bir ilâhiyatçı olan Pierre Viret’nin Instruction chrestienne (Cenova 1564) adlı eserinde rastlanmaktadır. Viret bu eserinde, kendilerini ateistlerden ayırmak için deist ismini alan bir grup filozof ve edipten bahsetmiş, kimliklerini vermediği bu kişileri, Allah’a ve O’nun âlemi yarattığına inanmakla birlikte Îsâ Mesîh’i ve Hıristiyanlık doktrinlerini inkâr eden ateistler olarak suçlamıştır.
Kelimeler bazen aynı manaya gelse de zamanla ayrışabilir. Mesela örgüt kelimesi ile teşkilat kelimesi aynıdır. Ama zamanla örgüt biraz daha olumsuz bir mana yüklenmiştir. Birine "örgütçü müsün?" demekle "teşkilatçı mısın" demek günümüzde çok farklı tepkilere yol açar.