Yansıma önleyici kaplamalarının kalınlığını tam olarak ölçmek için en yaygın yöntem, ucaylanmış ışığın yansıma tarzına bakan ellipsometrinin kullanılmasıdır. Yansıma önleyici kaplamanın ölçülmesinin kolay yöntemi, sadece filmin renkine bakmaktır.
Filmin rengi, kırılma indisinin yanı sıra kalınlıktan da etkilenir, böylece film rengi sadece kalınlık için kaba bir kılavuzdur. Silikon dioksit ve silikon nitrid filmlerin kalınlıklarının belirlenmesi için çoğlu çizelgeler var.
Üretim işleminin koşullarınındaki farkların, numunelerin ölçünler ile karşılaştırılması ile hızlı olarak sezmek amacı ile film ölçünlerini imal etmek alededir.
