numune anoda yerlestirilir. katot tarafindan olusan elektronlar anoda dogru yönlenirler. bobinler tarafindan yönleri degistirilir ve sabit manyetik mercekler ile odaklastirilirlar. numuneye carpan elektronlar se (secondelektron) - detektörü tarafindan yakalanir ve topografisini cikartir. bse - deketörü tarafindan yakalanan elektronlar da maddenin sabitligini, degismez degerini verir.
ve bu numuneye carpan elektronlar ayni zamanda isinim da sacarlar. örnegin; x-ray isinimi. bu isinimlar edx / wdx- detektörü tarafindan yakalanir ve numunenin hangi maddelerin birlesiyle olustugunu ayri bir monitörde gösterir.
maksimal büyütme faktörü normal mikroskopalarinkisi 2000:1 iken; elektron mikroskoplarinkisi neredeyse 1.000.000:1 ´dir.
icerisinde karbon icerikli (yag, kömür vb) maddelerin incelenmemesi tavsiyemdir. özellikle yag hic koymayin, vakkum düsmanidir.
bazi iletken maddelerde de görüntü elde etmekte zorlanilir. örn; alüminyum
